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Open Access Green möglich sobald Postprint bei der ZB eingereicht worden ist.
Dynamic range of 106 in depth profiling using secondary-ion mass spectrometry.
Appl. Phys. Lett. 37, 285-287 (1980)
Im Bibliotheksbestand vorhanden
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Limitations in dynamic range previously experienced in SIMS depth profiling are shown to be caused by neutral projectiles present in the primary ion beam. Dynamic ranges of about 106 can be achieved if (i) the final section of the primary beam line and the sample are immersed in a UHV ambient (<10-6 Pa) and (ii) the beam traversing this region is deflected or offset from the gun axis so that energetic neutrals produced in the beam line do not hit the sample.
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Publikationstyp
Artikel: Journalartikel
Dokumenttyp
Wissenschaftlicher Artikel
ISSN (print) / ISBN
0003-6951
e-ISSN
1077-3118
Zeitschrift
Applied Physics Letters
Quellenangaben
Band: 37,
Heft: 3,
Seiten: 285-287
Verlag
American Institute of Physics (AIP)
Nichtpatentliteratur
Publikationen
Begutachtungsstatus
Peer reviewed
Institut(e)
Physikalisch-Technische Abteilung