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Analytical description of the sputtering yields of silicon bombarded with normally incident ions.

Phys. Rev. B Condens. Matter 68, 235211/1-235211-11 (2003)
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Publikationstyp Artikel: Journalartikel
Dokumenttyp Wissenschaftlicher Artikel
Korrespondenzautor
ISSN (print) / ISBN 0163-1829
e-ISSN 1095-3795
Zeitschrift Physical Review B
Quellenangaben Band: 68, Heft: , Seiten: 235211/1-235211-11 Artikelnummer: , Supplement: ,
Verlag American Physical Society (APS)
Nichtpatentliteratur Publikationen
Begutachtungsstatus Peer reviewed